MEMS工艺集成化设计及其可视化
针对目前MEMS 设计复杂,直观性差等问题,提出了工艺集成化设计和可视化的可行性解决方案,对其中的关键技术进行了研究,并基于所提出的方案研究了工艺设计的集成化和可视化的实现技术.首先对MEMS 表面加工工艺进行了详细的分析,采用面向过程的方法建立了表面工艺过程的统一模型.基于这一模型,研究了MEMS 工艺设计的集成化技术,实现了工艺设计中各种信息的集成化,并设计开发了工艺设计的集成化软件环境.最后,对工艺设计中的二维版图的三维重构算法进行了详细的研究,通过Solil Works API接口的开发,在Solil Works的环境下实现了工艺过程的三维可视化.
微型机电系统 加工工艺 集成化设计 工艺可视化 三维重构 工艺设计
唐华锋 苑伟政
西北工业大学微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072
国内会议
太原
中文
51-53
2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）