集成风速计片上系统的计算机模拟
将MEMS器件与CMOS电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小、便于控制、易于大批量生产等优点,本文从风速计的工作场入手,运用了有限元、数据拟合、等效电路及SPICE宏单元的方法对片上系统进行模拟,从而直接模拟出信号状况,有利于片上处理电路和控制电路的匹配设计,提高了设计效率.文中给出了风速计流体场的有限元分析结果,并通过拟合的方法将输出的温度差输出到电路等效的热堆,信号和噪声经过片上集成的放大器输出到芯片外,有利于温度场、热敏感元件、放大电路的优化设计.
微机电系统 风速计 片上系统 计算机模拟 数据拟合 等效电路
朱昊 秦明 黄庆安
东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
国内会议
太原
中文
54-56
2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）