射频磁控溅射制备ZnO纳米薄膜的研究

摘要：

采用磁控溅射的方法来制备ZnO纳米薄膜.薄膜的晶体特性以及表面结构主要通过X射线衍射、扫描电子显微镜及原子力显微镜来进行表征.

关键词： 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 X射线衍射 晶体特性 表面结构

作者: 李静 吴孙桃 钟灿

作者单位: 厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建,厦门,361005 厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建,厦门,361005;厦门大学物理系,福建,厦门,361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 550-551

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）