射频磁控溅射制备ZnO纳米薄膜的研究

采用磁控溅射的方法来制备ZnO纳米薄膜.薄膜的晶体特性以及表面结构主要通过X射线衍射、扫描电子显微镜及原子力显微镜来进行表征.
氧化锌薄膜 射频磁控溅射 X射线衍射 晶体特性 表面结构
李静 吴孙桃 钟灿
厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建,厦门,361005 厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建,厦门,361005;厦门大学物理系,福建,厦门,361005
国内会议
太原
中文
550-551
2003-08-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)