单层多晶的EEPROM

摘要：

针对传统双层多晶EEPROM的诸多不足之处,介绍了相对较有潜力的单层多晶的EEPROM,主要对比了传统的双层多晶的EEPROM和单层多晶的EEPROM(single poly EEPROM),展示了single poly EEPROM的应用前景,同时提出了single poly EEPROM所面临的问题,并有针对性地给出了几种解决方案.

关键词： 单层多晶 三阱工艺 可擦写只读存储器 双层多晶

作者: 任涛 刘志弘 朱钧

作者单位: 清华大学微电子学研究所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 552-556

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）