加速度传感器信号处理集成电路的研制

摘要：

设计并制作了一种用于差分电容式加速度传感器的信号处理电路.该电路具有模拟和脉宽调制两种输出方式,能够将差分电容的变化通过模拟电平和输出脉冲信号的占空比表征,实现了对差分电容式加速度传感器信号的测量.电路中集成了自检测驱动单元.电路采用4 μm P阱CMOS工艺制作.初步测试结果表明:在1～5 pF内,电路的灵敏度为10.7 V/pF,可满足大多数差分电容式传感器信号处理的要求.

关键词： 差分电容 脉宽调制 加速度传感器 信号处理 集成电路 灵敏度

作者: 蓝慕杰 刘晓为 陈伟平 刘亚春 王美 王东旺

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 564-566,576

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）