基于压电陶瓷驱动的微操作手研究现状

摘要：

微操作手是微操作机器人的重要组成部分,首先介绍了国内外研制的几种典型微操作手.在此基础上,对于微操作手的关键技术,从机构、驱动、传感、检测几个方面进行了论述,在机构上,介绍了微位移定位机构的特点;在驱动方式上,论述了压电陶瓷的驱动方法;在微位移检测上,介绍了几种纳米微位移检测手段.最后,阐述了微操作手的发展趋势:微型化、集成化、智能化,达到纳米级或更高的定位精度.

关键词： 压电陶瓷 微操作手 微操作机器人 纳米定位

作者: 荣伟彬 曲东升 孙立宁

作者单位: 哈尔滨工业大学机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 590-594

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）