两端固支梁吸合电压解析模型的拟合修正

摘要：

常用的工具软件如Coventorware和Ansys等计算吸合电压所需时间太长,计算一个吸合电压大约需要数小时.本文通过采用二维分布模型计算吸合电压, 大幅度缩短计算吸合电压所需的时间,可在较短时间内完成大量不同尺寸及材料参数两端固支梁吸合电压的计算.用算得的吸合电压,采用最小二乘法,对两端固支梁吸合电压的解析模型进行拟合修正,提高了解析模型的精度.

关键词： 两端固支梁 材料性能 数值拟合 吸合电压 电压解析 解析模型

作者: 聂萌 黄庆安 王建华 戎华

作者单位: 合肥工业大学理学院,安徽,合肥,230009;东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 合肥工业大学理学院,安徽,合肥,230009

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 68-70

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）