一种新型微机械锚

摘要：

在不增加薄膜层数的前提下设计出一种新型的薄膜微机械锚结构.新型微机械锚与传统微机械锚相比具有更大的厚度和合理的形状,其刚度得到很大增强.有限元的模拟表明,新型微机械锚不仅能向连接在其结构上的其他微结构提供更高的支撑力,还提供了更接近于固支的支撑边界条件.

关键词： 表面微加工 微机械锚 薄膜结构 支撑力

作者: 刘祖韬 黄庆安

作者单位: 东南大学微电子机械系统教育部重点实验室,江苏,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 74-75,83

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）