悬臂梁的受控源等效电路宏模型的建立及验证

摘要：

针对能代表MEMS器件特征的悬臂梁结构,采用了SPICE中标准多项式受控源的形式建立悬臂梁的多模态小信号等效电路宏模型.在外力的作用下,用SPICE软件对此悬臂梁宏模型和外加电路进行了系统级的模拟,得到分布参数的力传感器的输出电压幅频特性曲线;最后采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证.

关键词： 悬臂梁 宏模型 受控源 等效电路 微机电系统 力传感器 谐振频率

作者: 闻飞纳 李伟华 戎华

作者单位: 东南大学微电子中心,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 76-79

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）