V型电致热微驱动器的力学特性分析

摘要：

运用能量法推导并建立了一种V型悬臂粱电热微致动器的力学模型.利用该力学模型得到了致动器的力学特性,并且与相关的实验结果进行了对比.由理论分析和实验对比发现,用于制造该电热微致动器的多晶硅材料在微米级尺度下的热膨胀系数与温度之间不再遵循宏观状态下的线性函数关系.

关键词： 电热微致动器 微机电系统 热膨胀系数 能量法 悬臂粱 力学模型 多晶硅材料

作者: 张永宇 沈雪瑾 陈晓阳

作者单位: 上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 80-83

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）