退火处理对纳米ZnO膜结构及气敏特性的影响

摘要：

用X射线衍射和透射电镜表征了直接沉淀法制得的纳米ZnO粉体的晶型、晶格常数、粒径及形貌等.研究了退火对纳米ZnO粉体制成的膜气敏性质和微结构的影响.结果表明低温退火可以改善ZnO膜的微结构和气敏效应的稳定性.

关键词： 氧化锌膜 气敏特性 膜结构 退火处理 晶格常数

作者: 马勇 王万录 廖克俊 葛芳芳

作者单位: 重庆大学数理学院,重庆,400044;重庆师范学院物理系,重庆,400047 重庆大学数理学院,重庆,400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 108-109,112

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）