相对湿度对AFM针尖阳极氧化金属薄膜的影响

摘要：

AFM针尖诱导氧化加工的金属(Ti、Al、Nb等)纳米氧化线是实现金属-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用.实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好的湿度范围为30％～50％。

关键词： 阳极氧化 金属氧化线 相对湿度 金属薄膜 纳米器件

作者: 匡登峰 刘庆纲 郭维廉 张世林 胡小唐

作者单位: 天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 天津大学电子信息工程学院,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 142-144

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）