BSRF上的微细塑铸研究

摘要：

利用北京同步辐射装置(BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法.结果表明采用自制模压装置,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果;真空模压在这四种方法中具有最好的精度,但若不进行工艺参数优化,也会导致变形等问题.

关键词： 溶液浇铸 反应浇铸 大气模压 真空模压 微细塑铸 模压装置 排气法

作者: 韩勇 彭良强 陈迪 伊福廷 张菊芳 黄军容

作者单位: 中国科学院高能物理研究所,北京,100039 上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 145-146

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）