Ni和Ni-PTFE自润滑模具的脱模研究

摘要：

微塑铸是LIGA技术大批量、低成本生产的关键技术.由于LIGA技术制造的微结构具有较大的高宽比,在脱模过程中,模具侧壁与塑铸材料之间会存在较大的摩擦力.这种摩擦力会损毁模具或塑铸产品,从而给脱模带来困难.本文制作了镍(Ni)模具和Ni-PTFE(聚四氟乙烯)模具,并比较其脱模效果.试验表明,对同一种微结构,Ni-PTFE模具的连续脱模次数要多于Ni模具.

关键词： 微塑铸 自润滑模具 塑铸材料 摩擦力 脱模效果

作者: 张鹏 刘刚 田扬超

作者单位: 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 186-188

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）