电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用

摘要：

概述了在固/液界面微/纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜(EC-SPM)技术,分别讨论了电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)、电化学原子力显微镜(EC-AFM)和扫描电化学显微镜(SECM)在应用于微/纳米加工时的基本原理和各种方法,并综合比较和分析了这三种技术的优缺点.

关键词： 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 扫描电化学显微镜 微纳米加工 电化学

作者: 汤儆 毛秉伟 田中群

作者单位: 固体表面物理化学重点实验室,化学系,福建,厦门,361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 192-196

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）