在SPM通用平台上开发特殊功能扫描探针显微镜

摘要：

SPM通用平台是一套扫描探针显微镜开发工具系统,它提供了一种开发生产SPM新的思路和方法,使SPM成为通用、开放、兼容的仪器体系.本文介绍了SPM通用平台的原理、指标和在其上扩展扫描隧道显微镜、原子力显微镜等功能模块的方法,以及智能型SPM通用平台的研究思路.

关键词： 扫描探针 扫描隧道 原子力显微镜 通用平台

作者: 赵于勒

作者单位: 上海卓伦微纳米设备有限公司,上海,200125

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 197-199

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）