力学参数测量时由残余电荷导致的误差分析

摘要：

分析了用静电牵引法测量悬臂梁结构力学参数时,由于绝缘层中残余电荷的存在,对测试结果带来的影响;并提出了利用C-V特性曲线确定残余电荷数量的方法,将求出的残余电荷数量从静电力的角度进行等效,从而求出考虑残余电荷后带来的阈值电压测试误差.该分析方法既适于提高悬臂梁、桥等用来测量力学参数的精度,也适于对静电执行器等的精确分析.

关键词： 悬臂梁 残余电荷 阈值电压 力学参数 参数测量 静电牵引法

作者: 姜岩峰 黄庆安

作者单位: 北方工业大学信息工程学院微电子中心,北京,100041 东南大学教育部MEMS重点实验室,江苏,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 204-206,211

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）