基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术

摘要：

动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用.本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上,基于模糊图像合成技术对MEMS 谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率f及品质因数Q等重要参数进行了测试,并给出了实验结果.

关键词： 动态测试 微机电系统 模糊图像 谐振器 谐振频率 图像合成 运动测量 机器微视觉

作者: 金翠云 栗大超 冯亚林 靳世久 曾周末 郝一龙 张大成

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 北京大学微电子学研究院,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 208-211

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）