纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用

摘要：

纳米硬度计是一种能提供103～10-2μm尺度材料或结构微力学性能检测的先进仪器.采用纳米压痕技术,研究薄膜材料的弹性模量和硬度随压痕深度的变化规律以及薄膜厚度测量、微桥弯曲变形测量的方法.采用纳米划痕技术,研究薄膜的表面粗糙度、临界附着力和摩擦系数测量的方法.该仪器能广泛应用于MEMS的力学检测,并有望成为这一领域内的标准力学检测设备.

关键词： 纳米硬度计 微机电系统 力学检测 力学性能 薄膜材料 弹性模量

作者: 张泰华

作者单位: 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 212-214

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）