基于计算机视觉的MEMS测试系统

摘要：

根据MEMS测试的要求,设计并实现了一种基于计算机视觉的MEMS测试系统.该系统是一个典型的光、机、电、算集成的MEMS测试系统,已应用于MEMS微结构几何尺寸和动态特性等的测量.因采用了亚像元定位技术,系统具有较高的测量精度.应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性,测量速度快,测试简便,有较好的工程应用价值.

关键词： 微机电系统 计算机视觉 图像测量 测试系统 几何尺寸 动态特性 测量精度

作者: 冯亚林 栗大超 金翠云 郝一龙 张大成 靳世久

作者单位: 北京大学微电子所,北京,100871 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 221-223,234

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）