基于谐振原理的硅微机械加速度计

摘要：

基于力学振动原理,导出敏感梁类谐振振动的微分方程,给出了振梁型加速度计的设计原理.指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关;为避免输出非线性频率信号,频率的相对变化率和激励振动的振幅都不宜太大.

关键词： 加速度计 类谐振器 力学振动 敏感梁 微分方程

作者: 贾玉斌 郝一龙 钟莹 张嵘

作者单位: 北京大学微电子学研究所,北京,100871 天津大学精仪学院,天津,300072 清华大学精仪系,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 271-273

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）