微硅陀螺性能影响因素及其对策研究

摘要：

论述了微硅陀螺的发展概况,总结了微硅陀螺的几类典型结构,分析了微硅振动陀螺总体性能的影响因素.从制作工艺、材料特性、系统模型的确立及接口设计上详细分析了性能约束因子.针对这些约束因素,本文提出了提高振动微硅陀螺性能的对策及发展方向.

关键词： 微硅陀螺 制作工艺 微机电系统 陀螺性能

作者: 吴学忠 刘宗林 李圣怡

作者单位: 国防科技大学微机电研究中心,湖南,长沙,410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 274-276,280

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）