叉指式微硅加速度计的参数化设计

摘要：

详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导,实现了最优化设计和仿真.

关键词： 微机电系统 叉指驱动 加速度计 参数化设计 材料力学 参数模型 优化设计

作者: 刘宗林 吴学忠 李圣怡

作者单位: 国防科技大学微机电研究中心,湖南,长沙,410073

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 277-280

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）