一种抗大过载微型加速度计研究

摘要：

讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理; 设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性; 进而利用ANSYS对器件进行模态分析, 找出结构上应变最大的位置, 并对结构尺寸进行优化; 提供一种可能的电路版图说明,并对加速度计的灵敏性进行理论分析; 最后提供一种可行的加工工艺方法.

关键词： 加速度计 微机电系统 十字梁 器件结构 过载冲击 电路版图

作者: 曾昭君 石进杰

作者单位: 北京大学微电子研究所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 281-283,288

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）