二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解

摘要：

硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点,在军民两用市场中有着广泛的应用前景.本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器,采用力法求解了其主轴刚度,为进一步研究该二维微加速度传感器的动态响应特性提供了理论依据.

关键词： 硅微加速度传感器 折叠梁 主轴刚度 二维叉指 动态响应 响应特性

作者: 刘妤 温志渝 张流强 梁玉前 温中泉 李霞

作者单位: 重庆大学光电工程学院,重庆,400044;重庆工学院车辆工程学院,重庆,400044 重庆大学光电工程学院,,重庆,400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 289-291

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）