真空微电子加速度传感器结构的有限元分析

摘要：

论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线.这些分析为此类加速度传感器的设计提供了理论依据.

关键词： 真空微电子 加速度传感器 有限元方法 场致发射 悬臂梁 谐振频率

作者: 彭述成 温志渝 温中泉 潘银松 李霞

作者单位: 重庆大学光电工程学院微系统实验室,重庆,400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 292-294,301

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）