准LIGA微加速度开关的研制

摘要：

阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁/解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程.设计过程中采用有限元软件Ansys进行结构模拟计算,确定了合适的结构参数;以硼硅玻璃为基底,采用准LIGA和牺牲层技术,分三层制作完成.经测试,开关性能较好,满足设计要求.

关键词： 加速度开关 折叠梁 触点电极 有限元软件 结构模拟 结构参数 开关性能

作者: 陈光焱 何晓平 施志贵 丁元萍 赵龙

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 312-313,316

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）