微机械热对流加速度传感器可靠性研究

摘要：

介绍了一种新型的微机械加速度计--热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺.由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成,其本身没有活动部件,因此这种加速度计的抗冲击能力几乎达到材料本身的强度.本文通过实验的方法验证了这种加速度计能适应各种恶劣环境,为器件的实用化奠定了基础.

关键词： 加速度计 热对流 微机械 单晶硅

作者: 杨拥军 吝海锋 师谦 徐爱东

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北,石家庄,050051 中国电子产品可靠性与环境实验研究所,广东,广州,510610

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 317-320

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）