PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析

摘要：

在PCR生物芯片的制作过程中,微反应腔制作是关键部分之一.本文利用硅基微机械加工工艺,分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作.通过扫描电镜分析,证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能加工出较理想的微反应腔体.本文还利用ANSYS软件对微反应腔进行温度分布和热特性分析.

关键词： 微反应腔 湿法腐蚀 干法刻蚀 温度场分布 生物芯片

作者: 刘大震 闫卫平 郭吉洪 杜立群

作者单位: 大连理工大学电子工程系,辽宁,大连,116024 大连理工大学微系统研究中心,辽宁,大连,116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 321-323,327

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）