硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究

摘要：

采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器,分析了微型加热器和温度传感器的特性,并给出扫描电子显微镜照片.实验证明Ni比较适合做温度传感器,NiCr是较好的微型加热器材料,能够满足PCR生物芯片温度特性的要求.

关键词： 聚合酶链式反应 生物芯片 微型加热器 温度传感器 化学腐蚀 干法刻蚀

作者: 席文柱 闫卫平 杜立群 郭吉洪

作者单位: 大连理工大学电子系,辽宁,大连,116023 大连理工大学微系统研究中心,辽宁,大连,116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 332-334,337

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）