脉冲激光MEMS加工技术

摘要：

阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处.进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术.

关键词： 脉冲激光 微机电系统 激光烧蚀 激光微加工 激光辅助沉积

作者: 李艳宁 唐洁 饶志军 宋晓辉 胡晓东 傅星 胡小唐

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 159-163

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）