硅尖的制备

摘要：

隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分,通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究,得到了合适的工艺条件以及较理想的硅尖.

关键词： 各向异性刻蚀 隧道硅尖 微机械 隧道传感器 刻蚀工艺

作者: 王艳华 孙道恒

作者单位: 厦门大学机电系,福建,厦门,361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 164-166

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）