双光子激光三维微细加工及信息存储技术

摘要：

利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储.文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统,以及用该系统进行三维光学微细加工及三维光学信息存储的实验情况,给出了部分利用已建立的加工系统所获得的初步实验结果.

关键词： 双光子激发 飞秒激光器 三维微细加工 光学信息 信息存储 加工系统

作者: 袁大军 周拥军 蒋中伟 黄文浩 夏安东 褚家如 刘允萍

作者单位: 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026 中国科学院分子反应动力学国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 173-176

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）