扫描探针显微镜刻蚀技术

摘要：

扫描探针显微镜(SPM)是一种具有宽广观察范围和最高3D分辨率的成像工具，可以测量诸如表面电导率，静电电荷分布，区域摩擦力、磁场和弹性模量等物理特性，还可作为一种表面微纳加工的工具。本文介绍了导电原子力显微镜(AFM)氧化反应刻蚀和STM刻蚀技术，阐述了AFM刻蚀的动、静态刻划，并分析在蘸水笔式纳米平板印刷中的应用。

关键词： 扫描探针显微镜 最高3D分辨率 表面微纳加工 导电原子力显微镜 STM刻蚀 氧化反应刻蚀

作者: 姚琲 李莉 王意 陈小平 李娜

作者单位: 天津大学分析测试中心 天津大学分析测试中心;天津大学材料学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五次华北五省市电子显微学研讨会暨第六届全国实验室协作服务交流会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 1-2

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）