衬底旋转改善光辅助MOCVD法制备1英寸YBCO外延膜均匀性的初步研究

摘要：

单一倾斜进气口光辅助MOCVD，在未旋转1”LAO衬底上制备纯c轴向YBCO外延膜时，厚度差异很大。衬底旋转后，得到厚度差异在10％以内的厚膜(～1.5μm)和薄膜(-0.6μm)。XRD 20-scan显示无YBCO(001)外杂峰，ω-FWHM为0.28°，φ-scan证明ab晶向整齐。另由SEM显示，YBCO膜致密，无晶粒界面。以磁感应法测量此薄膜的Jc为1.9～2.9 MA/cm2，厚膜为～0.3MA/cm2。SQUID测量YBCO小切片Tc在90～91 K之间。

关键词： YBCO外延膜 光辅助MOCVD法 制备工艺 高温超导膜 外延厚膜 均匀性分析

作者: 李国兴 杜国同 周本初 陈伟孟 陈晋平 方秀军 赵磊 李善文 杨皓宇 高忠民 李万成 殷景志 张宝林

作者单位: 集成光电子国家重点联合实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春,130023;长春华力超导科技有限公司,130012 集成光电子国家重点联合实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春,130023;长春华力超导科技有限公司,长春市硅谷大街4000号,130012 北京大学物理系,北京 100871 无极合成与制备国家重点实验室,吉林大学化学学院,长春,130023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 19-27

在线出版日期: 2008-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）