精密元件表面缺陷的数字化自动评价系统
根据国际IS010110-7的表面缺陷标准及ICF(InertialConf5ncmsnt Fusion,ICF)工程标准,本文提出了一种新颖的光学元件表面缺陷的光学显微散射成像及数字化评价系统：多束光纤冷光源呈环状分布并以一定角度斜入射到数毫米视场的披检表面,形成适合于数字图像二值化处理的暗背景上的亮疵病图像。对X、Y两方向进行子孔径图像扫描成像,并提出了利用模板匹配原理对获得的子孔径图像进行拼接得到全孔径表面疵病图像信息。利用数学形态学建立了可用于大口径表面检测扫描的图像处理的模式识别软件体系。并应用二元光学制作了标准比对板,以获得疵病正确的评价依据。最终利用该变倍光学显微镜散射成像系统得到能分辨微米量级表面疵病的图像,其单个子孔径物方视场约为3mm,对X、Y两方向进行5×5子孔径图像扫描成像,利用模板匹配实现了疵病图像的成功拼接,并给出了与标准比对的定量的数据结果。实验结果表明本系统完全可以实现光学元件表面缺陷的数字化评价。
光学测量 光学元件 表面缺陷测量 显微散射成像 数学形态学 光学显微散射成像 数字化评价
杨甬英 肖冰 刘东 杨李茗
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 杭州310027 中物院激光聚变研究中心,四川绵阳621000
国内会议
长春
中文
153-160
2008-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）