平面干涉仪参考面非旋转对称误差的消除
干涉仪参考镜面形质量直接制约其测量精度,参考镜的面形误差可以分解成旋转对称部分和非旋转对称部分。本文研究了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法。通过两次测量,第二次测量时,测试镜相对旋转54°,测量波面用36项Zernike多项式来表示,利用Zernike多项式形式的旋转不变性,求解出参考面旋转非对称误差的Zernike多项式系数。实验测得参考镜不同装夹应力下的非旋转对称面形分布。误差分析表明本方法测量精度优于λ/500(λ=632.8nm)。本方法可以用于消除干涉仪参考面非旋转对称误差对测量结果的影响,从而提高了干涉仪的测量精度。
干涉测量 绝对检验 非旋转对称误差 Zernike多项式 干涉仪 参考镜面形质量
徐晨 陈磊
南京理工大学电光学院431教研室,江苏南京210094
国内会议
长春
中文
144-147
2008-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）