内置放大器的压阻式自由场高频动态压力传感器研究

摘要：

中本文介绍了自由场高频动态压力传感器的设计。优化传感器芯片设计使其具有高的固有频率和亚微秒级的上升时间，采用笔形设计解决了无反射波的要求，并就实际应用中的问题提出了相应的解决方案。

关键词： 自由场 高频动态测量 压阻压力传感器 内置放大器 固有频率

作者: 王冰 尤彩红 庄家局 王利强

作者单位: 昆山双桥传感器测控技术有限公司；昆山；江苏；215325

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）