步进应力试验在压阻式压力传感器中的应用

摘要：

步进应力试验是一项不同于传统可靠性模拟实验的激发式试验技术.依据压力传感器环境条件和工作条件确定压力传感器的敏感应力。本文主要介绍低温环境下的步进应力试验的试验方法以及低温试验剖面图，针对压力传感器参数漂移提出失效判据依据，最终确定压力传感器的工作极限应力和破坏极限应力。从而为温度循环试验和可靠性强化试验方案的确定奠定基础。

关键词： 步进应力试验 压力传感器 可靠性 工作极限应力 失效判据

作者: 孟召丽 秦丽 吴永亮 王世昌 刘保林

作者单位: 电子测试技术国家重点实验室，山西太原，030051；中北大学电子科学与技术系，山西太原，030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）