一种微型高频动态压力传感器的设计与制作

摘要：

硅压阻式压力传感器多采用平膜片力敏元件设计，由于硅高的弹性模量、轻的质量及采用三维微机械加工的集成电路工艺制作，因此可获得小尺度的膜片，有利于获得低量程下高的固有频率。本文报道了一种微型高频动态压力传感器的设计与制作。

关键词： 微型高频动态 压力传感器 硅压阻 岛膜结构 微机械加工 力敏元件

作者: 尤彩红 王冰 王文襄 张文栋

作者单位: 昆山双桥传感器测控技术有限公司；昆山；江苏；215325;中北大学电子测试技术国家重点实验室；太原；山西；030051 昆山双桥传感器测控技术有限公司；昆山；江苏；215325 中北大学电子测试技术国家重点实验室；太原；山西；030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）