微型绝对压力传感器的封装与动态频响

摘要：

本文报道了可用于水中的微型绝压传感器的研发及正弦波动态标定的结果，指出化学沉积聚对二甲苯薄膜是一种实用性较好的封装方法。

关键词： CVD 微型传感器 绝对压力传感器 聚对二甲苯 封装方法 化学沉积

作者: 王冰 尤彩红 李程 杨军 王文襄

作者单位: 昆山双桥传感器研究所；昆山；江苏；215325 北京长城计量测试技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）