一种微型绝对压力传感器的设计与开发

摘要：

本文介绍了一种用于微型绝压传感器的压阻式力敏芯片的设计原理、内部结构及性能特点。该芯片做成的微型动态压力传感器在空气动力学、汽车发动机的进气歧管的压力控制、汽车轮胎的压力实时监测系统(TPMS)中都得到成功应用。

关键词： 硅硅键合 方形膜设计 各向异性湿法腐蚀 压力传感器 压力实时监测

作者: 尤彩红 王冰 王文襄 张文栋

作者单位: 昆山双桥传感器测控技术有限公司；昆山；江苏；215325;中北大学电子测试技术国家重点实验室；太原；山西；030051 昆山双桥传感器测控技术有限公司；昆山；江苏；215325 中北大学电子测试技术国家重点实验室；太原；山西；030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）