MOEMS光纤压力传感器研究

摘要：

本文研究了MOEMS光纤压力传感器的机理、结构设计、参数仿真与优化。文中利用多光束干涉原理推导出反射光光强公式，介绍了强度调制型MOEMS光纤压力传感器的设计方案，通过仿真对传感器相关参数对性能的影响进行了分析。最后在理论分析的基础上进行了光纤压力传感器的实验研究，验证了MOEMS光纤压力传感器理论和设计的正确性。

关键词： MOEMS 光纤压力传感器 反射光光强 结构设计 参数仿真 多光束干涉

作者: 王从飞 王广龙 冯丽爽 张群雁

作者单位: 军械工程学院导弹工程系石家庄050003 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）