压电陶瓷致动器在纳米定位系统中的应用

摘要：

本文介绍了一种基于尺蠖运动原理的纳米级步距压电致动器，配以适当的驱动信号，使其实现连续平稳的运动。系统控制方面，采用C51软件编程，以中断方式通过单片机系统实现波形控制，控制信号通过驱动电源加载到压电致动器。通过试验对压电致动器的性能进行了测试，结果表明：致动器的运动位移是线性的，行程大于10mm，最小步距可达亚微米级。

关键词： 压电陶瓷致动器 尺蠖运动 纳米定位 驱动电源 C51软件编程 单片机

作者: 温丽梅 马景辉 王晶

作者单位: 中国民航大学航空自动化学院航空电气系；天津；300300 天津化工研究设计院；天津；300131 河北工业大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）