基于MEMS的高炮自动机测试技术研究

摘要：

首先讨论了一种耐高温、抗过载的微加速度传感器的结构，然后对该传感器的制作工艺作了介绍，最后应用ANSYS软件对其进行了仿真，确定了传感器的结构参数,量程、抗冲击能力、灵敏度,等各项指标,证明该微传感器满足了设计时所提出的要求。

关键词： 高炮 自动机测试 MEMS 高温抗过载 微传感器 ANSYS

作者: 房立清 徐春晓 周新伟

作者单位: 军械工程学院火炮工程系，石家庄050003 军械工程学院火炮工程系，石家庄050003；71345 部队，255000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）