溶胶-凝胶法制备锆钛酸铅薄膜及其材料性能研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法，成功地在Pt(111)/Ti/Si3N4/SiO2/Si(100)衬底上制备出大面积的PZT薄膜，通过增加10％的Pb来解决Pb在高温退火中挥发的问题，并采取了600℃、650℃和700℃三种退火方式。采用XRD和Raman光谱仪对制备的薄膜进行了结晶性能与成相结构的测试，实验结果表明在700℃退火时，薄膜不仅形成了三方、四方共存的钙钛矿相结构，而且形成了沿＜100＞方向择优取向的薄膜。

关键词： 锆钛酸铅薄膜 溶胶凝胶法 材料性能 PZT薄膜 高温退火 XRD Raman光谱仪

作者: 李珺泓 薛晨阳 梁庭 谭秋林 范秋生 张文栋

作者单位: 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，电子测试技术国防重点实验室，山西太原030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）