数字散斑干涉术用于物面位移测量

摘要：

本文研究了用于位移测量的数字散斑干涉术(DSPI)，基于DSPI原理，设计了一种DSPI光学装置，此装置由泰曼-格林干涉系统组成，用于测量粗糙物体表面。由CCD接收的散斑干涉条纹图输入计算机中，进行数字图像处理，得到包含物体位移信息的相关条纹图，由相关条纹计算物体的位移量。由结果可知，和一般的散斑干涉方法相比，数字散斑干涉法提高了通过相关条纹计算位移量的计算精度，从而提高测量精度。

关键词： 散斑干涉 数字图象处理 相关条纹 物面位移测量 DSPI光学装置

作者: 刘喆 杨坤 任延俊 王文生

作者单位: 长春理工大学, 现代光学测试技术研究室，长春，130022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）