RF MEMS并联式开关的射频特性研究

摘要：

对RF MEMS并联式开关的射频特性进行设计、数值仿真和实验研究。提出了一个考虑电阻、电容和电感的射频特性电模型。在X-波段，单桥和双桥结构的开关比典型的RF MEMS并联式开关具有更高的射频隔离度。仿真和实验的结果表明，单桥和双桥结构的开关具有隔离度分别高于25dB和41dB。

关键词： 微电子机械系统 射频特性 RF MEMS并联式开关 射频隔离度 双桥结构

作者: 郭辉 黄建明 邓中亮

作者单位: 北京邮电大学电子工程学院，光通信与光波技术教育部重点实验室，北京100876

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

会议地点: 吉林延吉

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）