TiO2薄膜制备方法研究进展

摘要：

简述了TiO2纳米材料的发展现状，并从溶胶-凝胶法、物理气相沉积法、化学气相沉积法等方面对TiO2薄膜制备方法进行了综述。

关键词： 薄膜材料 纳米材料 溶胶凝胶法 物理气相沉积法 化学气相沉积法 二氧化钛

作者: 王小红

作者单位: 海南大学材料与化工学院 海南 海口 570228

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届十三省区市机械工程学会科技论坛暨2008海南机械科技论坛

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）