激光干涉仪在测量过程中所产生的误差及消除办法

摘要：

激光干涉技术是一种测量距离精度等于以至高于1PPM的测量方法，此方法广泛应用于机床和坐标测量机精度的评定。文中通过对仪器在使用中产生误差的原因分析和采取相应的消除方法解决了生产中数控精度测量的实际问题。

关键词： 双频激光干涉仪 测量误差 定位精度 数控精度 精度测量 机床精度

作者: 李伟

作者单位: 齐重数控装备股份有限公司质量管理部

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届十三省区市机械工程学会科技论坛暨2008海南机械科技论坛

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）